3.2.2.2. Objective (대물렌즈)


Objective 탭
Figure 25. Objective 탭
 Objective Lens
Figure 26. Objective Lens

Objective Lens(대물 렌즈)의 이동을 수행합니다.

  • Lens Step per μm: Objective에 따른 고정 값이고 정확한 거리를 이동하기 위해서 정확한 값으로 설정. (해당 장비에서는 1.6666) Lens Step은 버튼 클릭 당 이동하는 거리.
  • Lens Step: 방향키를 한 번 클릭했을 때 렌즈 이동 거리 설정
  • Stop: 렌즈 이동 중 정지
    • Down시 렌즈와 Stage의 충돌 유의
Table 1. Pulsed Laser Specifications
Objective Working Distance (mm) Focal Length(mm) Numerical Aperture
5x 37.5 40 0.14
20x 20 10 0.4
100x 10 2 0.7

-Working Distance: 작업 시 DUT와 Lens사이의 거리